微小型质量流量控制器的特点及应用
更新时间：2024-12-20 17:01:42
质量流量控制器，其英文名为（Mass Flow Controller，简称MFC）是一种高精度的测量流量的仪表，常用于测量并自动控制气体或液体的质量流量。它在多个领域内扮演着关键角色，其广泛用于真空镀膜，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造等设备中。那么微小质量流量控制器，又有何特点，其中应用有什么不同。下面介绍微小型质量流量控制器的特点及应用。
微小质量流量控制器它在半导体和集成电路工业，特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要作用。其典型的应用场合包括，电子工艺 设备，如扩散、外延、CVD、氧化，等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。因其微小方便，性能突出等优势常用于精密设备及精密控制的场所。
其产品特点有：微小质量流量控制器具备采集管路气体、液体流量等功能，并能够接受计算机设定值，通过 PID 程序控制调节阀，完成流量的自动化调节。本流量控制器具有体积小，集成度高，准确度高， 调节时间短，使用方便，工作稳定等特点。特别是在需要精确控制流体流量的工业、科研和医疗应用中广泛使用。如在呼吸罩制造企业产品漏气量检测应用，其介质为空气，流量为10-150ml/min，压力1-2kg，应用精度能达1%
总结，如果在使用微小型质量流量控制器测量不准确的问题，首先要将产品取下来，不要自行拆机也不要用吹风机或者其他气体例如氮气去吹扫，应该将流量计或者控制器取下来静置阴干2-3天，等里面的液体干透之后再安装进管路进行测试。因为其具有集成度高，微小等特点内部构造脆弱，强力拆卸很容易导致控制器损坏，而不得常失。以上就是微小型质量流量控制器的特点及应用的介绍，更多产品详情内容请关注江西诚睿自动化官网。
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