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层流式质量流量计

层流式质量流量计是一种基于哈根泊肃叶定律原理设计的精密流量测量仪器。
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产品介绍
层流式质量流量计原理:
层流式质量流量计的工作原理是基于哈根-泊肃叶定律(Hagen-Poiseuille Law)该定律指出,在温度、管径等参数一定的情况下,圆管内的不可压缩流体在层流状态下流动时,其体积流量与管道两端的压降呈线性关系。通过读取层流元件两端的压差信号,从而计算出体积流量,再对该体积流量进行压力和温度修正,从而获得标准的体积流量和质量流量数值。
层流式质量流量计原理
层流式质量流量计的测量:
具体来说,层流式质量流量计由层流元件和差压传感器组成3。在层流元件中,流体以层状运动,即每个质点沿着与管轴平行的方向作平滑直线运动1。差压传感器测量层流元件两端的压差信号,这个信号与流体体积流量成正比3。通过这个压差信号,可以计算出流体的体积流量,并进一步进行压力和温度修正,以得到标准体积流量和质量流量图1。
层流式质量流量计原理
层流式质量流量计的优势解析:
高精度:由于层流状态下流体参数的规律性,层流差压式质量流量计能够实现高精度的流量测量。其测量精度通常优于传统压差式流量计,特别是在微小流量和低压流体的测量中表现尤为突出。
快速响应:层流差压式质量流量计的响应时间非常快,这主要得益于层流元件两端压差信号的快速获取。压力波的传播速度(即声波速度)决定了压差信号的获取速度,从而确保了流量计的快速响应能力。
高重复性:流体的层流状态具有的稳定性,这使得层流差压式质量流量计的测量结果具有很高的重复性。在常规环境中,气体通常呈湍流状态运动,而层流差压式流量计通过层流元件使气体保持层流状态,从而提高了测量的稳定性和重复性。
层流式质量流量计测量
层流式质量流量计的注意事项:
需要注意的是,层流式质量流量计必须在确保流体在层流状态下流动,才能维持体积流量与压差之间的线性关系,从而确保测量的高精度。
层流式质量流量计的应用:
广泛应用于半导体、集成电路工业、特种材料、化学工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中。半导体产业中常用的CVD、Diffusion工艺,均是通过层流式质量流量计来精确地控制产品的镀膜和掺杂质量。另外,刻蚀等工艺过程也大量使用到MFC来控制工艺质量。
众所周知,半导体行业的原材料成本非常高昂,工艺非常复杂,因此对于产品质量的控制就显得尤为重要。对在半导体行业广泛使用的MFM/MFC进行周期性校准,是保证了MFM/MFC长期稳定工作的有效方法。
综上所述,层流式质量流量计是以其高精度、快速响应、高重复性和多气体适应性等优势,在各行各业中得到广泛应用。其使用从而改善了生产效率和产品质量,降低生产成本,以及增强产品竞争力。
产品标签:
层流式质量流量计
热式流量计
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